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Spatial profile of Al-ZnO thin film on polycarbonate deposited by ring-shaped magnetized rf plasma sputtering with two facing cylindrical Al2O3 - ZnO targets

発表形態：: 原著論文
主要業績：: 主要業績
単著・共著：: 共著
発表年月：: 2022年01月

DOI：
会議属性：: 指定なし
査読：: 有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：

Spatial profile of Al-ZnO thin film on polycarbonate deposited by ring-shaped magnetized rf plasma sputtering with two facing cylindrical Al2O3 - ZnO targets 読み: Yasunori Ohtsu, Godai Sakata, Julian Schulze, Takeshi Yasunaga, Yasuyuki Ikegami

題名：

Spatial profile of Al-ZnO thin film on polycarbonate deposited by ring-shaped magnetized rf plasma sputtering with two facing cylindrical Al2O3 - ZnO targets

発表情報：

Japanese Journal of Applied Physics 巻: 61 ページ: SI1005

キーワード：

概要：

抄録：

英語フィールド

Author：

Yasunori Ohtsu, Godai Sakata, Julian Schulze, Takeshi Yasunaga, Yasuyuki Ikegami

Title：

Spatial profile of Al-ZnO thin film on polycarbonate deposited by ring-shaped magnetized rf plasma sputtering with two facing cylindrical Al2O3 - ZnO targets

Announcement information:

Japanese Journal of Applied Physics Vol: 61 Page: SI1005