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Spatial profile of Al-ZnO thin film on polycarbonate deposited by ring-shaped magnetized rf plasma sputtering with two facing cylindrical Al2O3 - ZnO targets

発表形態：: 原著論文
主要業績：: その他
単著・共著：: 共著
発表年月：: 2022年01月

DOI：
会議属性：: 国際会議（国内開催を含む）
査読：: 有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：

Yasunori Ohtsu (Saga Univ.), Godai Sakata, Julian Schulze (Ruhr Univ.), Takeshi Yasunaga (Saga Univ.), Yasuyuki Ikegami

題名：

Spatial profile of Al-ZnO thin film on polycarbonate deposited by ring-shaped magnetized rf plasma sputtering with two facing cylindrical Al2O3 - ZnO targets

発表情報：

Japanese Journal of Applied Physics

キーワード：

概要：

抄録：

英語フィールド

Author：

Yasunori Ohtsu (Saga Univ.), Godai Sakata, Julian Schulze (Ruhr Univ.), Takeshi Yasunaga (Saga Univ.), Yasuyuki Ikegami

Title：

Spatial profile of Al-ZnO thin film on polycarbonate deposited by ring-shaped magnetized rf plasma sputtering with two facing cylindrical Al2O3 - ZnO targets

Announcement information:

Japanese Journal of Applied Physics