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アンバランスマグネトロンスパッタ装置の構築と ポリカーボネート板への PTFE 撥水性薄膜合成
発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
その他
単著・共著：
共著
発表年月：
2020年09月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
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日本語フィールド
著者：
井野 雄太、大津 康徳、安永 健、池上 康之
題名：
アンバランスマグネトロンスパッタ装置の構築と ポリカーボネート板への PTFE 撥水性薄膜合成
発表情報：
第81回応用物理学会秋季学術講演会 巻: 8a-Z04-15
キーワード：
概要：
抄録：
英語フィールド
Author：
Title：
Announcement information:
Vol: 8a-Z04-15
