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Temperature dependence of crystalline quality in MgGa2O4 films by oxygen radicals-assisted pulsed laser deposition

発表形態:
原著論文
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
2024年05月
DOI:
会議属性:
指定なし
査読:
有り
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
Qixin Guo*, Junya Tetsuka, Zewei Chen, Makoto Arita, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka
題名:
Temperature dependence of crystalline quality in MgGa2O4 films by oxygen radicals-assisted pulsed laser deposition
発表情報:
Materials Science in Semiconductor Processing,178, 108465 (2024).
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
Qixin Guo*, Junya Tetsuka, Zewei Chen, Makoto Arita, Katsuhiko Saito, Tooru Tanaka
Title:
Temperature dependence of crystalline quality in MgGa2O4 films by oxygen radicals-assisted pulsed laser deposition
Announcement information:
Materials Science in Semiconductor Processing,178, 108465 (2024).


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