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Growth properties of AlN films on sapphire substrates by reactive sputtering

発表形態:
原著論文
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
2006年
DOI:
会議属性:
査読:
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
Guo, Q. X / Tanaka, T / Nishio, M / Ogawa, H
題名:
Growth properties of AlN films on sapphire substrates by reactive sputtering
発表情報:
VACUUM 巻: 80 号: 7 ページ: 716-718
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
Guo, Q. X / Tanaka, T / Nishio, M / Ogawa, H
Title:
Growth properties of AlN films on sapphire substrates by reactive sputtering
Announcement information:
VACUUM Vol: 80 Issue: 7 Page: 716-718


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