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Reactive sputter deposition of AlInN thin films

発表形態:
原著論文
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
2007年03月
DOI:
会議属性:
査読:
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
Q.X. Guo, Y. Okazaki, Y. Kume, T. Tanaka, M. Nishio, and H. Ogawa
題名:
Reactive sputter deposition of AlInN thin films
発表情報:
Journal of Crystal Growth, 300, 151-154 (2007).
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
Q.X. Guo, Y. Okazaki, Y. Kume, T. Tanaka, M. Nishio, and H. Ogawa
Title:
Reactive sputter deposition of AlInN thin films
Announcement information:
Journal of Crystal Growth, 300, 151-154 (2007).


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