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機台振動の抑制を図ったリニアモータ駆動テーブルの高速位置決め制御
発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2004年
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日本語フィールド
著者：
山本 暁洋，宮河 秀和，浜松 弘， 後藤 聡，中村 政俊
題名：
機台振動の抑制を図ったリニアモータ駆動テーブルの高速位置決め制御
発表情報：
精密工学会誌 巻: 70 号: 5 ページ: 645-650
キーワード：
概要：
抄録：
英語フィールド
Author：
Title：
Announcement information:
Vol: 70 Issue: 5 Page: 645-650
