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近赤外光を用いた計測動作中の露点センサ鏡面の可視化解析

発表形態：: 一般講演（学術講演を含む）
主要業績：: 主要業績
単著・共著：: 共著
発表年月：: 2018年03月

DOI：
会議属性：: 国内会議
査読：: 無し
リンク情報：

日本語フィールド

著者：

石田賢治，村松純希，藤丸雄也，樋口裕樹

題名：

近赤外光を用いた計測動作中の露点センサ鏡面の可視化解析

発表情報：

日本機械学会九州支部第71期講演会講演論文集巻: 188-1 ページ: F15

キーワード：

概要：

半導体製造を始めとしてガス中の微量水分の管理が重要となる分野は多い．本研究では，鏡面冷却式露点計測の高精度化のために，露点域及び霜点域それそれで計測動作中のセンサ鏡面を近赤外光により可視化し，改良し自動化した画像解析ソフトウェアにより解析し，鏡面上での水滴や霜の生成・成長とそれを検知するレーザー散乱光強度の関係を詳細に調べた．また，鏡面上の水滴の大きさと散乱光強度の関係を数値シミュレーションにより検討した．

抄録：

英語フィールド

Author：

Kenji ISHIDA, Junki MURAMATSU, Yuya FUJIMARU, Yuuki HIGUCHII

Title：

Analyses of cooled-mirror dew point sensor measurements utilizing NIR visualization and image processing.

Announcement information:

Vol: 188-1 Page: F15