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プラズマスパッタリングによるAlN コーティング絶縁ドット静電チャックに関する研究

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2013年10月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
古川智大,百枝亮一,張波,馬渡俊文 読み: フルカワトモヒロ,モモエリョウイチ,チャンボ,マワタリトシフミ
題名：
プラズマスパッタリングによるAlN コーティング絶縁ドット静電チャックに関する研究
発表情報：
トライボロジー会議2013秋福岡予稿集 ページ: 1-2
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Tomohiro Furukawa, Ryoichi Momoe, Bo Zhang, Toshifumi Mawatari
Title：
A study of AlN coated insulation dot electrostatic chuck by plasma sputtering
Announcement information:
Page: 1-2

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