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ダイヤモンドへのイオン注入 パワーデバイスを目指して
発表形態：
招待講演・特別講演（学会シンポジウム等での講演を含む）
主要業績：
その他
単著・共著：
単著
発表年月：
2013年12月
DOI：
会議属性：
国内会議
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日本語フィールド
著者：
嘉数 誠
題名：
ダイヤモンドへのイオン注入 パワーデバイスを目指して
発表情報：
応用物理学会表面薄膜分科会研究会イオンビームによる界面表面解析特別研究会
キーワード：
概要：
抄録：
英語フィールド
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