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A Comparison of Nonlinear Friction Compensations for a High Precision Stage using Synchronous Piezoelectric Device Driver

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
単著
発表年月：
2009年11月
DOI：
会議属性：
国際会議（国内開催を含む）
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
K. Tsuruta, K. Sato, S. Sawada, K. Kosaka, and K. Shiling
題名：
A Comparison of Nonlinear Friction Compensations for a High Precision Stage using Synchronous Piezoelectric Device Driver
発表情報：
Proceedings of 3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology ページ: 1E-10-2191
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
K. Tsuruta, K. Sato, S. Sawada, K. Kosaka, and K. Shiling
Title：
A Comparison of Nonlinear Friction Compensations for a High Precision Stage using Synchronous Piezoelectric Device Driver
Announcement information:
Proceedings of 3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Page: 1E-10-2191

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