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Nonlinear Friction Compensation for a High Precision Stage using Synchronous Piezoelectric Device Driver

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2009年02月
DOI：
会議属性：
国際会議（国内開催を含む）
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Kazuhiro Tsuruta, Kazuya Sato, N. Ushimi and K. Kosaka
題名：
Nonlinear Friction Compensation for a High Precision Stage using Synchronous Piezoelectric Device Driver
発表情報：
Proceedings. of IEEE/ICIT ’09 ページ: 1162-1167
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Kazuhiro Tsuruta, Kazuya Sato, N. Ushimi and K. Kosaka
Title：
Nonlinear Friction Compensation for a High Precision Stage using Synchronous Piezoelectric Device Driver
Announcement information:
Proceedings. of IEEE/ICIT ’09 Page: 1162-1167

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