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Nonlinear Friction Compensation for a High Precision Stage using Synchronous Piezoelectric Device Driver

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2009年02月
DOI：
会議属性：
国際会議（国内開催を含む）
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
K. Tsuruta, K. Sato, N. Ushimi, and K. Kosaka
題名：
Nonlinear Friction Compensation for a High Precision Stage using Synchronous Piezoelectric Device Driver
発表情報：
Procs. of IEEE/ICIT ’09 ページ: 1162-1167
キーワード：
friction compensation, high precision positioning control, piezoelectric motor
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
K. Tsuruta, K. Sato, N. Ushimi, and K. Kosaka
Title：
Nonlinear Friction Compensation for a High Precision Stage using Synchronous Piezoelectric Device Driver
Announcement information:
Procs. of IEEE/ICIT ’09 Page: 1162-1167
Keyword：
friction compensation, high precision positioning control, piezoelectric motor

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