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Production of a high-density hydrogen plasma in a capacitively coupled RF discharge with a hollow cathode enclosed by magnets

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2024年05月
DOI：
10.1116/6.0003448
会議属性：
指定なし
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Yasunori Ohtsu, Takeshi Uchida, Ryohei Kuno and Julian Schulze
題名：
Production of a high-density hydrogen plasma in a capacitively coupled RF discharge with a hollow cathode enclosed by magnets
発表情報：
J. Vac. Sci. Technol. A 巻: 42 号: 3 ページ: 033011(9pp)
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Yasunori Ohtsu, Takeshi Uchida, Ryohei Kuno and Julian Schulze
Title：
Production of a high-density hydrogen plasma in a capacitively coupled RF discharge with a hollow cathode enclosed by magnets
Announcement information:
J. Vac. Sci. Technol. A Vol: 42 Issue: 3 Page: 033011(9pp)

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