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Spatial distributions of the ion flux in a capacitive hydrogen RF discharge using a hollow cathode with double toroidal grooves enclosed by magnets

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2023年06月
DOI：
10.35848/1347-4065/acdb7f
会議属性：
国際会議（国内開催を含む）
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Yasunori Ohtsu, Hokuto Hiwatashi and Julian Schulze
題名：
Spatial distributions of the ion flux in a capacitive hydrogen RF discharge using a hollow cathode with double toroidal grooves enclosed by magnets
発表情報：
Japanese Journal of Applied Physics, Special Issue: Plasma Processing (ICRP2022) 巻: 62 号: SL ページ: SL1017-1-7
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Yasunori Ohtsu, Hokuto Hiwatashi and Julian Schulze
Title：
Spatial distributions of the ion flux in a capacitive hydrogen RF discharge using a hollow cathode with double toroidal grooves enclosed by magnets
Announcement information:
Japanese Journal of Applied Physics, Special Issue: Plasma Processing (ICRP2022) Vol: 62 Issue: SL Page: SL1017-1-7

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