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Spatial structures of rf ring-shaped magnetized sputtering plasma with two facing cylindrical ZnO/ Al2O3 targets

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2022年11月
DOI：
会議属性：
国際会議（国内開催を含む）
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Y. Ohtsu, K. Hara, S. Imoto, J. Schulze, T. Yasunaga, Y. Ikegami
題名：
Spatial structures of rf ring-shaped magnetized sputtering plasma with two facing cylindrical ZnO/ Al2O3 targets
発表情報：
Proc. of 43rd International Symposium on Dry process, Osaka, Nov. 24-25, P-18 ページ: 71-72
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Y. Ohtsu, K. Hara, S. Imoto, J. Schulze, T. Yasunaga, Y. Ikegami
Title：
Spatial structures of rf ring-shaped magnetized sputtering plasma with two facing cylindrical ZnO/ Al2O3 targets
Announcement information:
Proc. of 43rd International Symposium on Dry process, Osaka, Nov. 24-25, P-18 Page: 71-72

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