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Temporal evolution of the ion flux to the target in rotational RF multi-magnetron plasma

著者：

Yasunori Ohtsu, Koya Yasuda, and Julian Schulze

題名：

発表情報：

J. Vac. Sci. Technol. A 巻: 40 号: 5 ページ: 053006(9pp)

キーワード：

概要：

抄録：

Author：

Yasunori Ohtsu, Koya Yasuda, and Julian Schulze

Title：

Temporal evolution of the ion flux to the target in rotational RF multi-magnetron plasma

Announcement information:

J. Vac. Sci. Technol. A Vol: 40 Issue: 5 Page: 053006(9pp)