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Development of a cruciform radio-frequency closed magnetron sputtering source including four sectorial magnetron sputtering discharges for uniform target utilization

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2022年08月
DOI：
10.1016/j.vacuum.2022.111184
会議属性：
指定なし
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Koya Yasuda, Yasunori Ohtsu and Julian Schulze
題名：
Development of a cruciform radio-frequency closed magnetron sputtering source including four sectorial magnetron sputtering discharges for uniform target utilization
発表情報：
Vacuum 202(2022)111184(7pp)
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Koya Yasuda, Yasunori Ohtsu and Julian Schulze
Title：
Development of a cruciform radio-frequency closed magnetron sputtering source including four sectorial magnetron sputtering discharges for uniform target utilization
Announcement information:
Vacuum 202(2022)111184(7pp)

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