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Properties of AZO thin films prepared by stationary and rotating RF magnetized plasma sputtering source

著者：

Md. Amzad Hossain, Md. Abdul Majed Patwary, Md. Mustafizur Rahman, Yasunori Ohtsu

題名：

発表情報：

AIP Advances 巻: 12 号: 1 ページ: 015224-1-9

キーワード：

概要：

抄録：

Author：

Md. Amzad Hossain, Md. Abdul Majed Patwary, Md. Mustafizur Rahman, Yasunori Ohtsu

Title：

Properties of AZO thin films prepared by stationary and rotating RF magnetized plasma sputtering source

Announcement information:

AIP Advances Vol: 12 Issue: 1 Page: 015224-1-9