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Characteristics of a radio frequency magnetized double-ring-shaped hollow cathode plasma source with permanent magnets for high-density hydrogen plasma generation

発表形態：: 原著論文
主要業績：: 主要業績
単著・共著：: 共著
発表年月：: 2021年08月

DOI：: 10.1016/j.vacuum.2021.110531
会議属性：: 指定なし
査読：: 有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：

Yasunori Ohtsu, Shoma Imoto, Shunya Takemura, Julian Schulze

題名：

Characteristics of a radio frequency magnetized double-ring-shaped hollow cathode plasma source with permanent magnets for high-density hydrogen plasma generation

発表情報：

Vacuum 巻: 193 ページ: 110531-1-9

キーワード：

概要：

抄録：

英語フィールド

Author：

Yasunori Ohtsu, Shoma Imoto, Shunya Takemura, Julian Schulze

Title：

Characteristics of a radio frequency magnetized double-ring-shaped hollow cathode plasma source with permanent magnets for high-density hydrogen plasma generation

Announcement information:

Vacuum Vol: 193 Page: 110531-1-9