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Production of double ring-shaped magnetized radio-frequency hydrogen high-density plasma

発表形態:
一般講演(学術講演を含む)
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
2019年11月
DOI:
会議属性:
国際会議(国内開催を含む)
査読:
有り
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
Y. Ohtsu, K. Kawabata, K. Aso and J. Schulze
題名:
Production of double ring-shaped magnetized radio-frequency hydrogen high-density plasma
発表情報:
2019 International Symposium on Dry Process 号: P-32 ページ: 119-120
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
Y. Ohtsu, K. Kawabata, K. Aso and J. Schulze
Title:
Production of double ring-shaped magnetized radio-frequency hydrogen high-density plasma
Announcement information:
2019 International Symposium on Dry Process Issue: P-32 Page: 119-120


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