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Spatial structure of radio frequency ring-shaped magnetized discharge sputtering plasma using two facing ZnO/Al2O3 cylindrical targets for Al-doped ZnO thin film preparation

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2017年05月
DOI：
会議属性：
指定なし
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Takashi Sumiyama, Takaya Fukumoto, Yasunori Ohtsu, and Tatsuo Tabaru
題名：
Spatial structure of radio frequency ring-shaped magnetized discharge sputtering plasma using two facing ZnO/Al2O3 cylindrical targets for Al-doped ZnO thin film preparation
発表情報：
AIP Advances 巻: 7 ページ: 055310(8pp)
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Takashi Sumiyama, Takaya Fukumoto, Yasunori Ohtsu, and Tatsuo Tabaru
Title：
Spatial structure of radio frequency ring-shaped magnetized discharge sputtering plasma using two facing ZnO/Al2O3 cylindrical targets for Al-doped ZnO thin film preparation
Announcement information:
AIP Advances Vol: 7 Page: 055310(8pp)

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