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Plasma characteristics and target erosion profile of racetrack-shaped RF magnetron plasma with weak rubber magnets for full circular target utilization

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2016年11月
DOI：
10.1016/j.surfcoat.2016.03.003
会議属性：
国際会議（国内開催を含む）
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Yasunori Ohtsu, Shohei Tsuruta, Tatsuo Tabaru, Morito Akiyama
題名：
Plasma characteristics and target erosion profile of racetrack-shaped RF magnetron plasma with weak rubber magnets for full circular target utilization
発表情報：
Surface & Coatings Technology 巻: 307 ページ: pp.1134-1138
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Yasunori Ohtsu, Shohei Tsuruta, Tatsuo Tabaru, Morito Akiyama
Title：
Plasma characteristics and target erosion profile of racetrack-shaped RF magnetron plasma with weak rubber magnets for full circular target utilization
Announcement information:
Surface & Coatings Technology Vol: 307 Page: pp.1134-1138

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