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プラズマ処理装置
発表形態：
知的財産権の出願等（著作権は除く）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2016年11月
DOI：
会議属性：
指定なし
査読：
無し
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日本語フィールド
著者：
大津康徳、加々見丈二、川下安司、武内達也
題名：
プラズマ処理装置
発表情報：
登録国：日本、登録番号：特許第6030867号、登録日：平成28年10月28日、特許権者：国立大学佐賀大学、神港精機株式会社
キーワード：
概要：
抄録：
英語フィールド
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