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Capacitive radio frequency discharges with a single ring-shaped narrow trench of various depths to enhance the plasma density and lateral uniformity

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2016年03月
DOI：
会議属性：
国際会議（国内開催を含む）
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Y. Ohtsu, N. Matsumoto, J. Schulze and E. Schuengel
題名：
Capacitive radio frequency discharges with a single ring-shaped narrow trench of various depths to enhance the plasma density and lateral uniformity
発表情報：
PHYSICS OF PLASMAS 巻: 23 号: 3 ページ: 033510(7pp)
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Y. Ohtsu, N. Matsumoto, J. Schulze and E. Schuengel
Title：
Capacitive radio frequency discharges with a single ring-shaped narrow trench of various depths to enhance the plasma density and lateral uniformity
Announcement information:
PHYSICS OF PLASMAS Vol: 23 Issue: 3 Page: 033510(7pp)

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