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Radio-frequency magnetized ring-shaped hollow cathode discharge plasma for low-pressure plasma processing

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2014年03月
DOI：
会議属性：
指定なし
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Y.Ohtsu, J.Eguchi and Y.Yahata
題名：
Radio-frequency magnetized ring-shaped hollow cathode discharge plasma for low-pressure plasma processing
発表情報：
Vacuum 巻: 101 ページ: 46-52
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Y.Ohtsu, J.Eguchi and Y.Yahata
Title：
Radio-frequency magnetized ring-shaped hollow cathode discharge plasma for low-pressure plasma processing
Announcement information:
Vacuum Vol: 101 Page: 46-52

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