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Production of High-Density Radio Frequency Plasma Source by Ring-Shaped Hollow-Cathode Discharge at Various Trench-Shapes

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2013年08月
DOI：
会議属性：
指定なし
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Y.Ohtsu,Y.Yahata, J.Kagami, Y.Kawashimo and T.Takeuchi
題名：
Production of High-Density Radio Frequency Plasma Source by Ring-Shaped Hollow-Cathode Discharge at Various Trench-Shapes
発表情報：
IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE, Special Issue on Ion Sources and Their Applications 巻: 41 号: 8 ページ: 1856-1861
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Y.Ohtsu,Y.Yahata, J.Kagami, Y.Kawashimo and T.Takeuchi
Title：
Production of High-Density Radio Frequency Plasma Source by Ring-Shaped Hollow-Cathode Discharge at Various Trench-Shapes
Announcement information:
IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE, Special Issue on Ion Sources and Their Applications Vol: 41 Issue: 8 Page: 1856-1861

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