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Preparation of Water-Repellent Thin Film with Inductive Plasma using C2H2F2/Ar gases and Investigation of Its Adhesion by Positively Pulse-Biasing

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2011年04月
DOI：
会議属性：
指定なし
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Y.Ohtsu, N.Wada, T.Misawa
題名：
Preparation of Water-Repellent Thin Film with Inductive Plasma using C2H2F2/Ar gases and Investigation of Its Adhesion by Positively Pulse-Biasing
発表情報：
Trans. Mater. Res. Soc. Jpn 巻: 36 号: 1 ページ: 95-98
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Y.Ohtsu, N.Wada, T.Misawa
Title：
Preparation of Water-Repellent Thin Film with Inductive Plasma using C2H2F2/Ar gases and Investigation of Its Adhesion by Positively Pulse-Biasing
Announcement information:
Trans. Mater. Res. Soc. Jpn Vol: 36 Issue: 1 Page: 95-98

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