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Two-Dimensional Spatial Structure of Inductively Coupled Plasma with One Internal Loop Antenna

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2009年10月
DOI：
会議属性：
指定なし
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Y.Ohtsu, K.Aramaki and H.Fujita
題名：
Two-Dimensional Spatial Structure of Inductively Coupled Plasma with One Internal Loop Antenna
発表情報：
J. Plasma Fusion Res. SERIES 巻: 8 ページ: 1291-1294
キーワード：
Inductively Coupled Plasma, Plasma Parameters
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Y.Ohtsu, K.Aramaki and H.Fujita
Title：
Two-Dimensional Spatial Structure of Inductively Coupled Plasma with One Internal Loop Antenna
Announcement information:
J. Plasma Fusion Res. SERIES Vol: 8 Page: 1291-1294
Keyword：
Inductively Coupled Plasma, Plasma Parameters

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