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Preparation of water-repellent film by RF plasma CVD using C2H2F2 gas

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2007年
DOI：
会議属性：
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Y.Ohtsu, Y.Masuda, S.Yazaki, T.Misawa and H.Fujita
題名：
Preparation of water-repellent film by RF plasma CVD using C2H2F2 gas
発表情報：
Sixth Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Y.Ohtsu, Y.Masuda, S.Yazaki, T.Misawa and H.Fujita
Title：
Preparation of water-repellent film by RF plasma CVD using C2H2F2 gas
Announcement information:
Sixth Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering

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