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Ar/O2 gas pressure dependences of a pulsed zirconium arc and extracted ion characteristics

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2007年
DOI：
会議属性：
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Ken Yukimura, Hiroyuki Ono, Shuhei Akashi, Xinxin Ma, Yasunori Ohtsu, Hiroharu Fujita and Keiji Nakamura
題名：
Ar/O2 gas pressure dependences of a pulsed zirconium arc and extracted ion characteristics
発表情報：
Surf. Coat. Technol. 巻: 201 ページ: 6550-6552
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Ken Yukimura, Hiroyuki Ono, Shuhei Akashi, Xinxin Ma, Yasunori Ohtsu, Hiroharu Fujita and Keiji Nakamura
Title：
Ar/O2 gas pressure dependences of a pulsed zirconium arc and extracted ion characteristics
Announcement information:
Surf. Coat. Technol. Vol: 201 Page: 6550-6552

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