MF研究者総覧

教員活動データベース

詳細

Time-Averaged Energy Distribution Function of Ions Impacted on an RF-biased Substrate in Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2003年
DOI：
会議属性：
査読：
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Ohtsu, Y / Yoshinaga, K / Fujita, H
題名：
Time-Averaged Energy Distribution Function of Ions Impacted on an RF-biased Substrate in Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma
発表情報：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1 REGULAR PAPERS SHORT NOTES AND REVIEW PAPERS 巻: 42 号: 12 ページ: 7552-7556
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Ohtsu, Y / Yoshinaga, K / Fujita, H
Title：
Time-Averaged Energy Distribution Function of Ions Impacted on an RF-biased Substrate in Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma
Announcement information:
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1 REGULAR PAPERS SHORT NOTES AND REVIEW PAPERS Vol: 42 Issue: 12 Page: 7552-7556

Copyright © MEDIA FUSION Co.,Ltd. All rights reserved.