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Influences of gap distance on plasma characteristics in narrow gap capacitively coupled radio-frequency discharge

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2004年
DOI：
会議属性：
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Y.Ohtsu and H.Fujita
題名：
Influences of gap distance on plasma characteristics in narrow gap capacitively coupled radio-frequency discharge
発表情報：
Jpn.J.Appl.Phys., 巻: 43 号: 2 ページ: 795-799
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Y.Ohtsu and H.Fujita
Title：
Influences of gap distance on plasma characteristics in narrow gap capacitively coupled radio-frequency discharge
Announcement information:
Jpn.J.Appl.Phys., Vol: 43 Issue: 2 Page: 795-799

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