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Influence of temperature, substrate position and nitrogen partial pressure on Cu3N thin films using RF magnetron sputtering

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2023年11月
DOI：
会議属性：
国際会議（国内開催を含む）
査読：
無し
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Shanta Majumder, Miho Ohishi, Katsuhiko Saito, Qixin Guo, Tooru Tanaka, Md Abdul Majed Patwary
題名：
Influence of temperature, substrate position and nitrogen partial pressure on Cu3N thin films using RF magnetron sputtering
発表情報：
The 8th Asian Applied Physics Conference (Asian-APC), November 26, 2023, Kyushu University, 26Ep-7.
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Shanta Majumder, Miho Ohishi, Katsuhiko Saito, Qixin Guo, Tooru Tanaka, Md Abdul Majed Patwary
Title：
Influence of temperature, substrate position and nitrogen partial pressure on Cu3N thin films using RF magnetron sputtering
Announcement information:
The 8th Asian Applied Physics Conference (Asian-APC), November 26, 2023, Kyushu University, 26Ep-7.

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