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高周波マグネトロンスパッタリング法によりサファイア基板上に作製したCu3N薄膜の基板温度依存性

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2022年11月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
大石 美帆, 齊藤 勝彦, 郭 其新, 田中 徹
題名：
高周波マグネトロンスパッタリング法によりサファイア基板上に作製したCu3N薄膜の基板温度依存性
発表情報：
2022年応用物理学会九州支部学術講演会, 2022年11月26日, 大分大学, 26Bp-10
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
大石 美帆, 齊藤 勝彦, 郭 其新, 田中 徹
Title：
高周波マグネトロンスパッタリング法によりサファイア基板上に作製したCu3N薄膜の基板温度依存性
Announcement information:
2022年応用物理学会九州支部学術講演会, 2022年11月26日, 大分大学, 26Bp-10

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