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RFマグネトロンスパッタ法によるCu3N薄膜の窒素分圧依存性

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2022年03月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
大石 美帆, 齊藤 勝彦, 郭 其新, 田中 徹
題名：
RFマグネトロンスパッタ法によるCu3N薄膜の窒素分圧依存性
発表情報：
2022年第69回応用物理学会春季学術講演会, 青山学院大学＋オンライン, 2022年3月23日, 23p-E106-5
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
大石 美帆, 齊藤 勝彦, 郭 其新, 田中 徹
Title：
RFマグネトロンスパッタ法によるCu3N薄膜の窒素分圧依存性
Announcement information:
2022年第69回応用物理学会春季学術講演会, 青山学院大学＋オンライン, 2022年3月23日, 23p-E106-5

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