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PLD法による(AlGaIn)2O3のエピタキシャル成長

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2020年09月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Chengyu Pan, Tooru Tanaka, Katsuhiko Saito, Qixin Guo
題名：
PLD法による(AlGaIn)2O3のエピタキシャル成長
発表情報：
2020年度（第73回）電気・情報関係学会九州支部連合大会, 2020年9月27日, オンライン, 06-2A-04.
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Chengyu Pan, Tooru Tanaka, Katsuhiko Saito, Qixin Guo
Title：
PLD法による(AlGaIn)2O3のエピタキシャル成長
Announcement information:
2020年度（第73回）電気・情報関係学会九州支部連合大会, 2020年9月27日, オンライン, 06-2A-04.

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