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Effect of substrate temperature on properties of thin films prepared by RF sputtering from CuInSe2 target with Na2Se

発表形態:
一般講演(学術講演を含む)
主要業績:
主要業績
単著・共著:
単著
発表年月:
1998年08月
DOI:
会議属性:
国際会議(国内開催を含む)
査読:
有り
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
T.Tanaka, T.Yamaguchi, A.Wakahara, and A.Yoshida
題名:
Effect of substrate temperature on properties of thin films prepared by RF sputtering from CuInSe2 target with Na2Se
発表情報:
14th International Vacuum Congress, Birmingham, August 31-September 4, 1998
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
T.Tanaka, T.Yamaguchi, A.Wakahara, and A.Yoshida
Title:
Effect of substrate temperature on properties of thin films prepared by RF sputtering from CuInSe2 target with Na2Se
Announcement information:
14th International Vacuum Congress, Birmingham, August 31-September 4, 1998


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