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高周波マグネトロンスパッタリング法によるInGaN薄膜成長に関する研究

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2009年11月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
楠木雄太, 緒方正彦, 斉藤勝彦, 田中徹, 西尾光弘, 郭其新
題名：
高周波マグネトロンスパッタリング法によるInGaN薄膜成長に関する研究
発表情報：
平成21年度応用物理学会九州支部学術講演会, 熊本大学，平成21年11月22日，22Aa-7
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
楠木雄太, 緒方正彦, 斉藤勝彦, 田中徹, 西尾光弘, 郭其新
Title：
高周波マグネトロンスパッタリング法によるInGaN薄膜成長に関する研究
Announcement information:

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