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パルスアークプラズマ法によるチタン・クロム・アルミからなる4元系窒化物膜の合成
発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2024年09月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
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日本語フィールド
著者：
長谷川裕之，岩井勇太朗
題名：
パルスアークプラズマ法によるチタン・クロム・アルミからなる4元系窒化物膜の合成
発表情報：
表面技術協会 第150回 講演大会 ページ: 13C-22
キーワード：
概要：
抄録：
英語フィールド
Author：
Title：
Announcement information:
Page: 13C-22
