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Mechanical, tribological, and oxidation properties of Si-containing CrAlN films

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2019年02月
DOI：
会議属性：
指定なし
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
Y. Kitamika, H.Hasegawa
題名：
Mechanical, tribological, and oxidation properties of Si-containing CrAlN films
発表情報：
Vacuum 巻: 164 ページ: 29-33
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
Y. Kitamika, H.Hasegawa
Title：
Mechanical, tribological, and oxidation properties of Si-containing CrAlN films
Announcement information:
Vacuum Vol: 164 Page: 29-33

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