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Impact of tungsten content on the surface properties of TiN films

著者：

Y. Kitamika, H Shingu, S. Tanigawa, H. Hasegawa

題名：

発表情報：

Journal of the surface finishing society of Japan 巻: 69 号: 3 ページ: 123-125

キーワード：

概要：

抄録：

Author：

Y. Kitamika, H Shingu, S. Tanigawa, H. Hasegawa

Title：

Impact of tungsten content on the surface properties of TiN films

Announcement information:

Journal of the surface finishing society of Japan Vol: 69 Issue: 3 Page: 123-125