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Impact of tungsten content on the surface properties of TiN films

発表形態:
原著論文
主要業績:
主要業績
単著・共著:
共著
発表年月:
2018年03月
DOI:
会議属性:
指定なし
査読:
有り
リンク情報:

日本語フィールド

著者:
Y. Kitamika, H Shingu, S. Tanigawa, H. Hasegawa
題名:
Impact of tungsten content on the surface properties of TiN films
発表情報:
Journal of the surface finishing society of Japan 巻: 69 号: 3 ページ: 123-125
キーワード:
概要:
抄録:

英語フィールド

Author:
Y. Kitamika, H Shingu, S. Tanigawa, H. Hasegawa
Title:
Impact of tungsten content on the surface properties of TiN films
Announcement information:
Journal of the surface finishing society of Japan Vol: 69 Issue: 3 Page: 123-125


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