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高周波マグネトロンスパッタリング法により作製した(Cr,Al,Si)Nの表面特性

著者：

北御門雄大, 長谷川裕之

題名：

発表情報：

表面技術巻: 68 ページ: 298-302

キーワード：

概要：

抄録：

Author：

Title：

Surface properties of (Cr,Al,Si)N films synthesized by RF magnetron sputtering method

Announcement information:

Vol: 68 Page: 298-302