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窒化ジルコニウムをベースとする多元系セラミック薄膜の開発
発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2017年03月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
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日本語フィールド
著者：
北御門雄大, 中元寺功貴, 長谷川裕之
題名：
窒化ジルコニウムをベースとする多元系セラミック薄膜の開発
発表情報：
精密工学会 春季大会 ページ: M21
キーワード：
概要：
抄録：
英語フィールド
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Announcement information:
Page: M21
