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クロム系窒化物およびチタン系窒化物からなる積層膜の構築および薄膜特性の評価
発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2017年03月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
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日本語フィールド
著者：
北御門雄大，森亮裕，長谷川裕之
題名：
クロム系窒化物およびチタン系窒化物からなる積層膜の構築および薄膜特性の評価
発表情報：
表面技術協会 第135回講演会 ページ: P-56
キーワード：
概要：
抄録：
英語フィールド
Author：
Title：
クロム系窒化物およびチタン系窒化物からなる積層膜の構築および薄膜特性の評価
Announcement information:
Page: P-56
