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Effects of Al content on mechanical Properties in ternary nitride films

発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2002年00月
DOI：
会議属性：
国際会議（国内開催を含む）
査読：
無し
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
M. Kawate, H. Hasegawa, A. Kimura, T. Suzuki
題名：
Effects of Al content on mechanical Properties in ternary nitride films
発表情報：
Proceedings of 3rd International Conference on The Coatings in Manufacturing Engineering ページ: 343-348
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
M. Kawate, H. Hasegawa, A. Kimura, T. Suzuki
Title：
Effects of Al content on mechanical Properties in ternary nitride films
Announcement information:
Proceedings of 3rd International Conference on The Coatings in Manufacturing Engineering Page: 343-348

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