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Effects of Al content on hardness, lattice parameter and microstructure of Ti₁_-_XAl_XN films

著者：

A. Kimura, H. Hasegawa, K. Yamada, T. Suzuki

題名：

発表情報：

Surface & Coatings Technology 巻: 120 ページ: 438-441

キーワード：

概要：

抄録：

Author：

A. Kimura, H. Hasegawa, K. Yamada, T. Suzuki

Title：

Effects of Al content on hardness, lattice parameter and microstructure of Ti₁_-_XAl_XN films

Announcement information:

Surface & Coatings Technology Vol: 120 Page: 438-441