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Microstructures of (Ti,Cr,Al,Si)N films synthesized by cathodic arc method

発表形態：
原著論文
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2007年
DOI：
会議属性：
指定なし
査読：
有り
リンク情報：

日本語フィールド

著者：
K. Ichijo, H. Hasegawa, T. Suzuki
題名：
Microstructures of (Ti,Cr,Al,Si)N films synthesized by cathodic arc method
発表情報：
Surface & Coatings Technology 巻: 201 ページ: 5477-5480
キーワード：
概要：
抄録：

英語フィールド

Author：
K. Ichijo, H. Hasegawa, T. Suzuki
Title：
Microstructures of (Ti,Cr,Al,Si)N films synthesized by cathodic arc method
Announcement information:
Surface & Coatings Technology Vol: 201 Page: 5477-5480

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