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Microhardness and structural analysis of (Ti,Al)N, (Ti,Cr)N, (Ti,Zr)N and (Ti,V)N films

著者：

H. Hasegawa, A. Kimura, T. Suzuki

題名：

発表情報：

Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 巻: 18 ページ: 1038-1040

キーワード：

概要：

抄録：

Author：

H. Hasegawa, A. Kimura, T. Suzuki

Title：

Microhardness and structural analysis of (Ti,Al)N, (Ti,Cr)N, (Ti,Zr)N and (Ti,V)N films

Announcement information:

Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films Vol: 18 Page: 1038-1040