教員活動データベース
全体
研究者氏名
著者名
検索
詳細
高周波マグネトロンスパッタリング法による金属含有炭素膜の開発
発表形態：
一般講演（学術講演を含む）
主要業績：
主要業績
単著・共著：
共著
発表年月：
2014年09月
DOI：
会議属性：
国内会議
査読：
無し
リンク情報：
検索条件
トップ（所属別検索）
詳細検索
日本語フィールド
著者：
長谷川裕之，渡邊泰生，大崎智裕
題名：
高周波マグネトロンスパッタリング法による金属含有炭素膜の開発
発表情報：
日本機械学会 九州支部 大分講演会 ページ: No.081
キーワード：
概要：
抄録：
英語フィールド
Author：
Title：
Announcement information:
Page: No.081
